硅鉬棒在氧化氣氛下、使用溫度為1800℃，硅鉬棒電熱元件的電阻隨著溫度升高而迅速增加，當溫度不變時電阻值穩定。在正常情況下元件電阻不隨使用時間的長短而發生變化，因此，新舊硅鉬棒電熱元件可以混合使用。硅鉬棒具有高溫抗氧化性，在高溫氣氛下，原件的表面生成一層致密的石英SiO2保護層以防止MOSi2繼續氧化。當元件溫度大于1700度、熔點1710度的SIO2保護層熔融，由于表面張力的作用，SIO2熔聚成滴，而失去保護作用。元件在氧化氣氛下在繼續使用時，SiO2保護層重新生成，利于元件長期高溫使用 。